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SiC基底HFCVD金刚石薄膜摩擦磨损性能

王贺 沈建辉 刘鲁生 闫广宇 吴玉厚 熊家骥 DANIEL Cristea

金刚石与磨料磨具工程2022，Vol.42Issue(3)：283-289,7.
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金刚石与磨料磨具工程2022，Vol.42Issue(3)：283-289,7.DOI:10.13394/j.cnki.jgszz.2021.0206

SiC基底HFCVD金刚石薄膜摩擦磨损性能

Wear properties of HFCVD diamond films on SiC substrate

王贺 1沈建辉 2刘鲁生 1闫广宇 2吴玉厚 3熊家骥 1DANIEL Cristea2

作者信息

  • 1. 现代建筑工程装备与技术国际合作联合实验室,沈阳 110168
  • 2. 沈阳建筑大学 机械工程学院,沈阳 110168
  • 3. 中国科学院金属研究所,沈阳材料科学国家研究中心,沈阳 110016
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摘要

关键词

金刚石薄膜/碳化硅/石墨/摩擦磨损/化学气相沉积

分类

化学化工

引用本文复制引用

王贺,沈建辉,刘鲁生,闫广宇,吴玉厚,熊家骥,DANIEL Cristea..SiC基底HFCVD金刚石薄膜摩擦磨损性能[J].金刚石与磨料磨具工程,2022,42(3):283-289,7.

基金项目

国家自然科学基金(51942507) （51942507）

学科创新引智项目(D18017) （D18017）

沈阳市科技局(18-400-6-05) （18-400-6-05）

中央军委科技委项目(20-163-00-TS-006-002-11) （20-163-00-TS-006-002-11）

福建省-中科院STS计划配套项目(2020T3001). （2020T3001）

金刚石与磨料磨具工程

OA北大核心CSTPCD

1006-852X

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