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先进光刻材料

李自力 徐兴冉 湛江浩 胡晓华 张子英 熊诗圣

应用化学2022，Vol.39Issue(6)：P.859-870,12.
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应用化学2022，Vol.39Issue(6)：P.859-870,12.DOI:10.19894/j.issn.1000-0518.220031

先进光刻材料

李自力 1徐兴冉 2湛江浩 1胡晓华 1张子英 3熊诗圣1

作者信息

  • 1. 复旦大学信息科学与工程学院,微纳系统中心,上海200438
  • 2. 复旦大学信息科学与工程学院,微纳系统中心,上海200438 上海工程技术大学材料工程学院,上海201620
  • 3. 上海工程技术大学材料工程学院,上海201620
  • 折叠

摘要

关键词

先进光刻技术/导向自组装光刻/光刻胶/共轭聚合物光刻材料/化学放大胶

分类

化学化工

引用本文复制引用

李自力,徐兴冉,湛江浩,胡晓华,张子英,熊诗圣..先进光刻材料[J].应用化学,2022,39(6):P.859-870,12.

基金项目

国家自然科学基金(Nos.U20A20227,61974030) （Nos.U20A20227,61974030）

复旦大学科研启动项目(No.JIH1232090)资助。 （No.JIH1232090）

应用化学

OA北大核心CSCDCSTPCD

1000-0518

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