真空电子技术Issue(3)：P.69-74,91,91,7.DOI:10.16540/j.cnki.cn11-2485/tn.2022.03.14
离子束辅助沉积Ta/Zr薄膜及栅网应用研究
杨鹏云 1张宏志 1李文旭 1邱立1
作者信息
- 1. 北京真空电子技术研究所,北京100015
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摘要
关键词
离子束辅助沉积/栅控脉冲行波管/Ta/Zr薄膜/栅网膜层分类
数理科学引用本文复制引用
杨鹏云,张宏志,李文旭,邱立..离子束辅助沉积Ta/Zr薄膜及栅网应用研究[J].真空电子技术,2022,(3):P.69-74,91,91,7.
