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表面处理对PEEK GF30磁控溅射镀Cu金属化的影响

钟利 金凡亚 但敏 童洪辉 敬星 王新超 许泽金

表面技术2022，Vol.51Issue(7)：P.297-305,9.
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表面技术2022，Vol.51Issue(7)：P.297-305,9.

表面处理对PEEK GF30磁控溅射镀Cu金属化的影响

钟利 1金凡亚 1但敏 1童洪辉 1敬星 2王新超 1许泽金1

作者信息

  • 1. 核工业西南物理研究院中核同创(成都)科技有限公司,成都610207
  • 2. 中国核动力研究设计院,成都610213
  • 折叠

摘要

关键词

磁控溅射镀膜/表面金属化/界面处理/注入/活化/聚醚醚酮/膜基结合强度

分类

矿业与冶金

引用本文复制引用

钟利,金凡亚,但敏,童洪辉,敬星,王新超,许泽金..表面处理对PEEK GF30磁控溅射镀Cu金属化的影响[J].表面技术,2022,51(7):P.297-305,9.

基金项目

西物创新行动项目(202001XWCXYD002) （202001XWCXYD002）

国家自然科学基金(11875039) （11875039）

四川省应用基础研究项目(2019YJ0296)。 （2019YJ0296）

表面技术

OA北大核心CSCDCSTPCD

1001-3660

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