表面技术2022，Vol.51Issue(7)：P.141-149,9.
保温时间对Ti/TiN/TiCN涂层结构、残余应力及耐磨性的影响
摘要
关键词
保温时间/Ti/TiN/TiCN涂层/磁控溅射/残余应力/耐磨性能分类
矿业与冶金引用本文复制引用
李海涛,程东海,师超,张体明,陈宜..保温时间对Ti/TiN/TiCN涂层结构、残余应力及耐磨性的影响[J].表面技术,2022,51(7):P.141-149,9.基金项目
南昌航空大学博士科研启动金项目(EA201903408) （EA201903408）
国家自然科学基金青年基金(52001155)。 （52001155）
