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基于光助芬顿反应的碳化硅化学机械抛光工艺优化

章平 陈国美 倪自丰 夏永 戴蒙姣 王建梅 李维民 张海涛

表面技术2022，Vol.51Issue(7)：P.253-262,10.
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表面技术2022，Vol.51Issue(7)：P.253-262,10.

基于光助芬顿反应的碳化硅化学机械抛光工艺优化

章平 1陈国美 2倪自丰 1夏永 1戴蒙姣 1王建梅 3李维民 4张海涛5

作者信息

  • 1. 江南大学机械工程学院,江苏无锡214122
  • 2. 江南大学机械工程学院,江苏无锡214122 无锡商业职业技术学院机电技术学院,江苏无锡214153
  • 3. 无锡创明传动工程有限公司,江苏无锡214142
  • 4. 深圳杰明纳微电子科技有限公司,广东深圳518110
  • 5. 无锡吴越半导体有限公司,江苏无锡214115
  • 折叠

摘要

关键词

碳化硅/紫外光辅助/化学机械抛光/芬顿反应/工艺优化/化学作用

分类

矿业与冶金

引用本文复制引用

章平,陈国美,倪自丰,夏永,戴蒙姣,王建梅,李维民,张海涛..基于光助芬顿反应的碳化硅化学机械抛光工艺优化[J].表面技术,2022,51(7):P.253-262,10.

基金项目

江苏省研究生科研创新计划(KYCX20_1926) （KYCX20_1926）

国家自然科学基金(51305166,51675232) （51305166,51675232）

江苏省高校自然科学研究项目(19KJB460023) （19KJB460023）

江苏省高校青蓝项目(2021)。 （2021）

表面技术

OA北大核心CSCDCSTPCD

1001-3660

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