南通大学学报：自然科学版2022，Vol.21Issue(2)：P.65-72,8.DOI:10.12194/j.ntu.20211130001
基于高迁移率晶体管的氮化镓微机械谐振器
摘要
关键词
氮化镓/高迁移率晶体管/微机械谐振器/二维电子气分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
郭兴龙,朱友华,葛梅,李毅,邓洪海..基于高迁移率晶体管的氮化镓微机械谐振器[J].南通大学学报：自然科学版,2022,21(2):P.65-72,8.基金项目
国家自然科学基金面上项目(62074086,61874168) （62074086,61874168）
国家自然科学基金青年科学基金项目(62004109) （62004109）
江苏省产学研项目(21ZH626)。 （21ZH626）
