湿法刻蚀液配比对“SE+PERC”双面单晶硅太阳电池电性能影响的研究OA
在太阳电池制备过程中,刻蚀工序作为扩散工序后去除硅片p-n结的重要工序,除了具有将p区与n区断开防止正负极短路的作用外,还会对硅片背面绒面的状态产生影响,尤其是此工序后续还会影响“SE+PERC”双面单晶硅太阳电池的电性能。湿法刻蚀工艺中刻蚀液的配比不同,对抛光后硅片背面的绒面形貌产生的影响也会不同,从而会影响太阳电池对不同波段太阳光的利用率,导致制备的“SE+PERC”双面单晶硅太阳电池的光电转换效率存在差异。研究了湿法刻蚀工艺中不同刻蚀液配比…查看全部>>
张进臣;张建军;张永;严金梅;朱少杰
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能源科技
单晶硅太阳电池湿法刻蚀PERC背面抛光反射率光电转换效率
《太阳能》 2022 (7)
P.53-58,6
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