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非回转对称次波前退化下的干涉相干成像像差

吕思达 李明茁 胡海翔 薛栋林 张学军

光学精密工程2022，Vol.30Issue(13)：P.1523-1533,11.
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光学精密工程2022，Vol.30Issue(13)：P.1523-1533,11.DOI:10.37188/OPE.20223013.1523

非回转对称次波前退化下的干涉相干成像像差

吕思达 1李明茁 1胡海翔 2薛栋林 2张学军2

作者信息

  • 1. 中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室,吉林长春130033 中国科学院大学,北京100049
  • 2. 中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室,吉林长春130033
  • 折叠

摘要

关键词

光学检测/干涉补偿检测/次波前退化/干涉相干成像像差

分类

机械制造

引用本文复制引用

吕思达,李明茁,胡海翔,薛栋林,张学军..非回转对称次波前退化下的干涉相干成像像差[J].光学精密工程,2022,30(13):P.1523-1533,11.

基金项目

国家重大科研仪器研制项目(No.62127901) （No.62127901）

国家自然科学基金资助项目(No.62075218)。 （No.62075218）

光学精密工程

OA北大核心CSCDCSTPCD

1004-924X

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