光学精密工程2022，Vol.30Issue(13)：P.1582-1590,9.DOI:10.37188/OPE.20223013.1582
MEMS微压压力传感器的灵敏度优化
摘要
关键词
微机电系统/微压压力传感器/COMSOL mutilphysics/灵敏度优化分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
彭时秋,朱赛宁..MEMS微压压力传感器的灵敏度优化[J].光学精密工程,2022,30(13):P.1582-1590,9.基金项目
江苏省科技计划资助项目(No.BA2018059)。 （No.BA2018059）
