现代应用物理2022，Vol.13Issue(2)：P.121-128,8.DOI:10.12061/j.issn.20956223.2022.020602
Xe离子辐照导致InGaN薄膜化学组分与表面形貌的变化
摘要
关键词
InGaN/重离子辐照/化学组分/表面形貌分类
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刘宁,张利民,李治明,刘雪婷,彭金鑫,张硕,王铁山,郭红霞..Xe离子辐照导致InGaN薄膜化学组分与表面形貌的变化[J].现代应用物理,2022,13(2):P.121-128,8.基金项目
国家自然科学基金资助项目(11875154,11305081) （11875154,11305081）
强脉冲辐射环境模拟与效应国家重点实验室基金资助项目(SKLIPR2014)。 （SKLIPR2014）
