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溅射温度对ITO/Ag/ITO多层复合薄膜的结构和光电性能的影响

程媛媛 黄瑜佳 朱归胜 徐华蕊 万乐 焦培文 汪坤喆

人工晶体学报2022，Vol.51Issue(6)：P.1028-1033,6.
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人工晶体学报2022，Vol.51Issue(6)：P.1028-1033,6.

溅射温度对ITO/Ag/ITO多层复合薄膜的结构和光电性能的影响

程媛媛 1黄瑜佳 2朱归胜 1徐华蕊 1万乐 1焦培文 1汪坤喆1

作者信息

  • 1. 桂林电子科技大学材料科学与工程学院,电子信息材料与器件教育部工程研究中心,广西信息材料重点实验室,桂林541004
  • 2. 广西中沛光电科技有限公司,来宾546100
  • 折叠

摘要

关键词

磁控溅射/分层溅射/复合薄膜/ITO薄膜/Ag薄膜/溅射温度

分类

通用工业技术

引用本文复制引用

程媛媛,黄瑜佳,朱归胜,徐华蕊,万乐,焦培文,汪坤喆..溅射温度对ITO/Ag/ITO多层复合薄膜的结构和光电性能的影响[J].人工晶体学报,2022,51(6):P.1028-1033,6.

基金项目

广西科技计划项目(桂科AA21077018,桂科AB20297053) （桂科AA21077018,桂科AB20297053）

国家自然科学基金重点项目(U21A2065) （U21A2065）

“科技助力经济2020”重点专项(SQ2020YFF0425649) （SQ2020YFF0425649）

广西信息材料重点实验室基金(201002-Z)。 （201002-Z）

人工晶体学报

OA北大核心CSTPCD

1000-985X

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