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高性能无源敏感薄膜材料Si基异质异构集成方法及传感器芯片技术研究

张万里

科技成果管理与研究2022，Vol.17Issue(7)：69-70,2.

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科技成果管理与研究2022，Vol.17Issue(7)：69-70,2.DOI:10.3772/j.issn.1673-6516.2022.07.023

高性能无源敏感薄膜材料Si基异质异构集成方法及传感器芯片技术研究

张万里¹

作者信息

1. 电子科技大学,四川成都 611731
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张万里..高性能无源敏感薄膜材料Si基异质异构集成方法及传感器芯片技术研究[J].科技成果管理与研究,2022,17(7):69-70,2.

科技成果管理与研究

OACHSSCD

ISSN：1673-6516

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