电化学2022，Vol.28Issue(6)：P.81-89,9.DOI:10.13208/j.electrochem.210447
钴互连化学机械抛光浆料中的界面腐蚀行为研究
摘要
关键词
钴互连/化学机械抛光/腐蚀/甘氨酸/苯骈三氮唑分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
秦凯旋,常鹏飞,黄钰林,李明,杭弢..钴互连化学机械抛光浆料中的界面腐蚀行为研究[J].电化学,2022,28(6):P.81-89,9.基金项目
国家自然科学基金重大项目(No.51991374)资助。 （No.51991374）
