电化学2022，Vol.28Issue(6)：P.110-118,9.DOI:10.13208/j.electrochem.210449
高深径比通孔脉冲电镀添加剂及电镀参数的优化
摘要
关键词
电镀添加剂/脉冲电镀/高深径比通孔/正交设计试验/深镀能力分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
杨凯,陈际达,陈世金,许伟廉,郭茂桂,廖金超,吴熷坤..高深径比通孔脉冲电镀添加剂及电镀参数的优化[J].电化学,2022,28(6):P.110-118,9.基金项目
国家自然科学基金项目(No.21878029,No.21706195,No.21676035) （No.21878029,No.21706195,No.21676035）
广东省"扬帆计划"先进印制电路关键技术研发及产业化项目(No.2015YT02D025)资助。 （No.2015YT02D025）
