发光学报2022，Vol.43Issue(7)：P.1095-1101,7.DOI:10.37188/CJL.20210399
砷化镓热氧化法制备β-Ga_(2)O_(3)体块薄膜
摘要
关键词
热氧化/纳米岛状体块薄膜/β-Ga_(2)O_(3)/氧气流量分类
数理科学引用本文复制引用
刁肇悌,陈威,董鑫,焦腾,李政达..砷化镓热氧化法制备β-Ga_(2)O_(3)体块薄膜[J].发光学报,2022,43(7):P.1095-1101,7.基金项目
国家自然科学基金(61774072)资助项目。 （61774072）
