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超短脉冲激光与碳化硅相互作用研究

王金舵

科技创新与应用2022，Vol.12Issue(22)：79-82,86,5.
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科技创新与应用2022，Vol.12Issue(22)：79-82,86,5.DOI:10.19981/j.CN23-1581/G3.2022.22.020

超短脉冲激光与碳化硅相互作用研究

王金舵1

作者信息

  • 1. 光学辐射重点实验室,北京 100854
  • 折叠

摘要

关键词

超短脉冲激光/冷加工/碳化硅/电子密度增长速率方程/损伤阈值

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

王金舵..超短脉冲激光与碳化硅相互作用研究[J].科技创新与应用,2022,12(22):79-82,86,5.

科技创新与应用

2095-2945

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