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生长气压对分子束外延β-Ga2O3薄膜特性的影响

蔡文为黄凯康俊勇刘祥炜王浩汪建元郑力诚王永嘉周颖慧杨旭李金钗

人工晶体学报2022，Vol.51Issue(7)：1152-1157,6.

Effect of Growth Pressure on Properties of β-Ga2 O3 Thin Films Grown by Molecular Beam Epitaxy

蔡文为 ¹黄凯 ¹康俊勇 ²刘祥炜 ¹王浩 ¹汪建元 ¹郑力诚 ¹王永嘉 ¹周颖慧 ¹杨旭 ¹李金钗¹

作者信息

1. 厦门大学物理学系,半导体光电材料及其高效转换器件协同创新中心,福建省半导体材料及应用重点实验室,微纳光电子材料与器件教育部工程研究中心,厦门 361005
2. 厦门市未来显示技术研究院,嘉庚创新实验室,厦门 361005
折叠

β-Ga2O3薄膜/分子束外延/生长气压/缺陷密度/晶体质量/光学特性

数理科学

蔡文为,黄凯,康俊勇,刘祥炜,王浩,汪建元,郑力诚,王永嘉,周颖慧,杨旭,李金钗..生长气压对分子束外延β-Ga2O3薄膜特性的影响[J].人工晶体学报,2022,51(7):1152-1157,6.

国家重点研发计划(2021YFB3600101) （2021YFB3600101）

国家自然科学基金(61874090,62174141) （61874090,62174141）

福建省自然科学基金(2021J01008) （2021J01008）

厦门市重大科技项目(3502Z20191016) （3502Z20191016）

OA北大核心CSTPCD

ISSN：1000-985X

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