人工晶体学报2022，Vol.51Issue(7)：1185-1193,9.
-300mm直拉硅单晶生长过程中的变晶现象及其影响因素
Crystalloblast and Its Affecting Factors in ?300 mm Czochralski Silicon Single Crystal Growth
摘要
关键词
直拉硅单晶/扭晶/数值模拟/提拉速度/晶体旋转速度/过冷区分类
数理科学引用本文复制引用
张晶,刘丁..-300mm直拉硅单晶生长过程中的变晶现象及其影响因素[J].人工晶体学报,2022,51(7):1185-1193,9.基金项目
国家自然科学基金青年科学基金(62003260) （62003260）
国家自然科学基金国家重大科研仪器研制项目(62127809) （62127809）
