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稳态微聚束加速器光源

唐传祥 邓秀杰

物理学报2022,Vol.71Issue(15):74-88,15.
物理学报2022,Vol.71Issue(15):74-88,15.DOI:10.7498/aps.71.20220486

稳态微聚束加速器光源

Steady-state micro-bunching accelerator light source

唐传祥 1邓秀杰1

作者信息

  • 1. 清华大学工程物理系,北京 100084
  • 折叠

摘要

关键词

加速器光源/稳态微聚束/原理验证实验/极紫外光刻

引用本文复制引用

唐传祥,邓秀杰..稳态微聚束加速器光源[J].物理学报,2022,71(15):74-88,15.

基金项目

清华大学自主科研专项(批准号:20191081195)和国家自然科学基金(批准号:12035010)资助的课题. (批准号:20191081195)

物理学报

OA北大核心CSCDCSTPCDSCI

1000-3290

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