物理学报2022,Vol.71Issue(15):74-88,15.DOI:10.7498/aps.71.20220486
稳态微聚束加速器光源
Steady-state micro-bunching accelerator light source
摘要
关键词
加速器光源/稳态微聚束/原理验证实验/极紫外光刻引用本文复制引用
唐传祥,邓秀杰..稳态微聚束加速器光源[J].物理学报,2022,71(15):74-88,15.基金项目
清华大学自主科研专项(批准号:20191081195)和国家自然科学基金(批准号:12035010)资助的课题. (批准号:20191081195)