传感技术学报2022，Vol.35Issue(6)：732-737,6.DOI:10.3969/j.issn.1004-1699.2022.06.003
检测电极变形对MEMS陀螺仪振动性能的影响
The Effect of Sensing Electrode's Deformation on MEMS Gyroscope's Vibration Performance
徐淑静 1卢新艳1
作者信息
- 1. 中国电子科技集团公司第十三研究所,河北 石家庄050051
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摘要
关键词
MEMS陀螺仪/振动性能/误差信号分析/音叉结构/静电驱动分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
徐淑静,卢新艳..检测电极变形对MEMS陀螺仪振动性能的影响[J].传感技术学报,2022,35(6):732-737,6.
