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均一亚微米级氧化铈抛光粉的制备

戴蒙姣 陈国美 倪自丰 章平 钱善华 卞达

金刚石与磨料磨具工程2022,Vol.42Issue(4):428-432,5.
金刚石与磨料磨具工程2022,Vol.42Issue(4):428-432,5.DOI:10.13394/j.cnki.jgszz.2021.0117

均一亚微米级氧化铈抛光粉的制备

Preparation of homogeneous sub-micron cerium oxide polishing powder

戴蒙姣 1陈国美 2倪自丰 1章平 1钱善华 1卞达1

作者信息

  • 1. 江南大学 机械工程学院, 江苏 无锡 214122
  • 2. 无锡商业职业技术学院 机电技术学院, 江苏 无锡 214153
  • 折叠

摘要

关键词

CeO2/均一/溶剂热法/化学机械抛光

分类

矿业与冶金

引用本文复制引用

戴蒙姣,陈国美,倪自丰,章平,钱善华,卞达..均一亚微米级氧化铈抛光粉的制备[J].金刚石与磨料磨具工程,2022,42(4):428-432,5.

金刚石与磨料磨具工程

OA北大核心CSTPCD

1006-852X

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