云南化工2022，Vol.49Issue(8)：131-132,147,3.DOI:10.3969/j.issn.1004-275X.2022.08.41
多晶硅循环氢中氮含量升高原因及解决措施
Reasons and Solutions of Nitrogen Content Increase in Circulating Hydrogen of Polysilicon
付强 1杨典 1路向飞 1张晓伟 1耿乐康1
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- 1. 洛阳中硅高科技有限公司, 河南 洛阳 471000
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付强,杨典,路向飞,张晓伟,耿乐康..多晶硅循环氢中氮含量升高原因及解决措施[J].云南化工,2022,49(8):131-132,147,3.
