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介电泳效应平面抛光的电极同层布置方式数值仿真与实验

邓乾发 程军 吕冰海 袁巨龙 王旭 岑凯迪

中国机械工程2022，Vol.33Issue(15)：1772-1779,1793,9.
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中国机械工程2022，Vol.33Issue(15)：1772-1779,1793,9.DOI:10.3969/j.issn.1004-132X.2022.15.002

介电泳效应平面抛光的电极同层布置方式数值仿真与实验

Numerical Simulation and Experiments of SLAEs for Planar Polishing with Dielectrophoresis Effect

邓乾发 1程军 2吕冰海 1袁巨龙 2王旭 1岑凯迪2

作者信息

  • 1. 浙江工业大学超精密加工研究中心,杭州,310023
  • 2. 浙江工业大学特种装备制造与先进加工技术教育部重点实验室,杭州,310023
  • 折叠

摘要

关键词

介电泳效应/平面抛光/电极同层布置/均匀性

分类

机械制造

引用本文复制引用

邓乾发,程军,吕冰海,袁巨龙,王旭,岑凯迪..介电泳效应平面抛光的电极同层布置方式数值仿真与实验[J].中国机械工程,2022,33(15):1772-1779,1793,9.

基金项目

国家自然科学基金(51775511,U1809221) （51775511,U1809221）

浙江省自然科学基金(LY17E050022,R17E050002) （LY17E050022,R17E050002）

中国机械工程

OA北大核心CSCDCSTPCD

1004-132X

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