中国机械工程2022，Vol.33Issue(15)：1803-1809,7.DOI:10.3969/j.issn.1004-132X.2022.15.006
光纤法珀式SiC耐高温压力传感器的制造与测试
Fabrication and Measurement of SiC Fiber-optic Fabry-Perot Pressure Sensors for High-temperature Applications
摘要
关键词
压力传感器/碳化硅/法珀干涉/超声加工/直接键合分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
盛天宇,李健,李鸿昌,蒋永刚..光纤法珀式SiC耐高温压力传感器的制造与测试[J].中国机械工程,2022,33(15):1803-1809,7.基金项目
国家自然科学基金(52022008) （52022008）
