红外技术2022，Vol.44Issue(8)：818-823,6.
采用干法刻蚀进行微通道板扩口理论模型研究
Theoretical Model of Funnel Microchannel Plate Fabricated through Dry Etching
邱祥彪 1任玲 1张振 1乔芳建 1聂慧君 1黄国瑞 1陈晓倩 1胡泽训 1林焱剑 1刘丹 1杨晓明 1闵信杰 1金戈 1孙建宁 1王健 1丛晓庆 1张正君 1徐昭 1潘凯1
作者信息
- 1. 北方夜视科技(南京)研究院有限公司,江苏 南京 211106
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摘要
关键词
扩口微通道板/干法刻蚀/开口面积比/理论模型分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
邱祥彪,任玲,张振,乔芳建,聂慧君,黄国瑞,陈晓倩,胡泽训,林焱剑,刘丹,杨晓明,闵信杰,金戈,孙建宁,王健,丛晓庆,张正君,徐昭,潘凯..采用干法刻蚀进行微通道板扩口理论模型研究[J].红外技术,2022,44(8):818-823,6.
