标准科学Issue(z1)：229-232,4.
MEMS领域新国际提案综述
Review of New International Standard Proposals in MEMS Field
刘若冰 1曹赞 1张大成 2彭春荣3
作者信息
- 1. 中国电子技术标准化研究院
- 2. 北京大学
- 3. 中国科学院空天信息创新研究院
- 折叠
摘要
关键词
MEMS/微结构检测/MEMS电场敏感器件/国际提案引用本文复制引用
刘若冰,曹赞,张大成,彭春荣..MEMS领域新国际提案综述[J].标准科学,2022,(z1):229-232,4.
