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电化学电容-电压(ECV)法对高铝组分AlGaAs化合物半导体载流子浓度的测量

李刚

标准科学Issue(z1):284-287,4.
标准科学Issue(z1):284-287,4.

电化学电容-电压(ECV)法对高铝组分AlGaAs化合物半导体载流子浓度的测量

Measurement of Semiconductor Carrier Concentration of AlGaAs Compound with High Aluminum Component by Electrochemical Capacitance-Voltage (ECV)

李刚1

作者信息

  • 1. 中国电子科技集团公司第十三研究所
  • 折叠

摘要

关键词

电化学电容-电压/化合物半导体/载流子浓度/电解液

引用本文复制引用

李刚..电化学电容-电压(ECV)法对高铝组分AlGaAs化合物半导体载流子浓度的测量[J].标准科学,2022,(z1):284-287,4.

标准科学

1674-5698

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