无机材料学报2022，Vol.37Issue(6)：596-602,7.DOI:10.15541/jim20210437
硅片上集成高介电调谐率的柱状纳米晶BaTiO3铁电薄膜
Columnar Nanograined BaTiO3 Ferroelectric Thin Films Integrated on Si with a Sizable Dielectric Tunability
摘要
关键词
硅/BaTiO3/铁电薄膜/柱状纳米晶/介电调谐率/品质因子分类
化学化工引用本文复制引用
赵玉垚,欧阳俊..硅片上集成高介电调谐率的柱状纳米晶BaTiO3铁电薄膜[J].无机材料学报,2022,37(6):596-602,7.基金项目
国家自然科学基金(51772175,11672036) （51772175,11672036）
济南市"新高校20条"项目(2021GXRC055,济南市科技局) （2021GXRC055,济南市科技局）
