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电弧离子镀CrAlN-DLC硬质复合薄膜的成分、结构与性能

程玮杰 王明磊 林国强

无机材料学报2022，Vol.37Issue(7)：764-772,9.
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无机材料学报2022，Vol.37Issue(7)：764-772,9.DOI:10.15541/jim20210616

电弧离子镀CrAlN-DLC硬质复合薄膜的成分、结构与性能

Composition, Structure and Properties of CrAlN-DLC Hard Composite Films Deposited byArc Ion Plating

程玮杰 1王明磊 2林国强1

作者信息

  • 1. 大连理工大学材料科学与工程学院, 大连 116024
  • 2. 大连理工大学三束材料改性教育部重点实验室, 大连 116024
  • 折叠

摘要

关键词

电弧离子镀/硬质复合薄膜/CrAlN-DLC/成分/相结构/硬度/摩擦性能

分类

化学化工

引用本文复制引用

程玮杰,王明磊,林国强..电弧离子镀CrAlN-DLC硬质复合薄膜的成分、结构与性能[J].无机材料学报,2022,37(7):764-772,9.

基金项目

国家重点研发计划(2016YFB0101318) （2016YFB0101318）

无机材料学报

OA北大核心CSCDCSTPCDSCI

1000-324X

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