现代信息科技2022，Vol.6Issue(11)：73-75,3.DOI:10.19850/j.cnki.2096-4706.2022.011.019
硅基MEMS微同轴的工艺技术
Silicon-Based MEMS Micro-Coaxial Process Technology
董春晖 1杨志 1申晓芳 1李宏军1
作者信息
- 1. 中国电子科技集团公司 第十三研究所,河北 石家庄 050051
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摘要
关键词
MEMS/微同轴/低插损/空气填充分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
董春晖,杨志,申晓芳,李宏军..硅基MEMS微同轴的工艺技术[J].现代信息科技,2022,6(11):73-75,3.
