现代信息科技2022，Vol.6Issue(12)：59-61,3.DOI:10.19850/j.cnki.2096-4706.2022.012.015
基于MEMS工艺的硅基毫米波微同轴波导芯片
Silicon-Based Millimeter Wave Micro Coaxial Waveguide Chip Based on MEMS Process
董春晖 1杨志 1申晓芳 1李宏军1
作者信息
- 1. 中国电子科技集团公司第十三研究所,河北 石家庄 050051
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摘要
关键词
MEMS/微同轴/毫米波/波导分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
董春晖,杨志,申晓芳,李宏军..基于MEMS工艺的硅基毫米波微同轴波导芯片[J].现代信息科技,2022,6(12):59-61,3.
