中南大学学报（自然科学版）2022，Vol.53Issue(7)：2467-2475,9.DOI:10.11817/j.issn.1672-7207.2022.07.007
沉积条件对化学气相沉积SiC涂层沉积速率的影响
Effect of deposition conditions on deposition rates of SiC coatings by chemical vapor deposition
摘要
关键词
化学气相沉积/碳化硅涂层/沉积速率/有限元仿真分类
化学化工引用本文复制引用
徐振男,张立强,陈招科,霍皓灵,张浩然..沉积条件对化学气相沉积SiC涂层沉积速率的影响[J].中南大学学报（自然科学版）,2022,53(7):2467-2475,9.基金项目
长沙市自然科学基金资助项目(kp2202288) （kp2202288）
湖南省教育厅科学研究重点项目(19A512) （19A512）
