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硅基电子气去除甲基氯硅烷的分子动力学模拟

李艳平 严大洲 杨涛 温国胜 韩治成

化工进展2022,Vol.41Issue(8):P.4375-4385,11.
化工进展2022,Vol.41Issue(8):P.4375-4385,11.DOI:10.16085/j.issn.1000-6613.2021-2154

硅基电子气去除甲基氯硅烷的分子动力学模拟

李艳平 1严大洲 1杨涛 1温国胜 1韩治成1

作者信息

  • 1. 中国恩菲工程技术有限公司,北京100038 硅基材料制备技术国家工程研究中心,河南洛阳471023
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摘要

关键词

化学反应/光氯化/甲基氯硅烷/分子模拟/微观化学反应机理

分类

化学化工

引用本文复制引用

李艳平,严大洲,杨涛,温国胜,韩治成..硅基电子气去除甲基氯硅烷的分子动力学模拟[J].化工进展,2022,41(8):P.4375-4385,11.

基金项目

中国博士后科学基金(2020M670591)。 (2020M670591)

化工进展

OA北大核心CSCDCSTPCD

1000-6613

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