表面技术2022，Vol.51Issue(8)：100-106,7.DOI:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2022.08.008
氧化铟锡(ITO)薄膜溅射生长及光电性能调控
Growth and the Tunable Optical and Electrical of Sputtered ITO Films
雷沛 1束小文 2刘培元 3罗俊杰 3李佳明 1郝常山 2纪建超 1张旋2
作者信息
- 1. 北京航空材料研究院股份有限公司,北京 100095
- 2. 北京市先进运载系统结构透明件工程技术研究中心,北京 100095
- 3. 陆军装备部驻北京地区航空军事代表室,北京 100039
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摘要
关键词
氧化铟锡薄膜/磁控溅射法/薄膜结构/热处理/光电性能分类
通用工业技术引用本文复制引用
雷沛,束小文,刘培元,罗俊杰,李佳明,郝常山,纪建超,张旋..氧化铟锡(ITO)薄膜溅射生长及光电性能调控[J].表面技术,2022,51(8):100-106,7.
