表面技术2022，Vol.51Issue(8)：214-224,11.DOI:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2022.08.017
磁过滤沉积TiAlSiN纳米薄膜的摩擦磨损与腐蚀磨损行为
Wear and Corrosion-Wear Behavior of TiAlSiN Nano-film Deposited by Filtered Cathodic Vacuum Arc Deposition
摘要
关键词
TiAlSiN薄膜/磁过滤阴极真空弧沉积技术/耐磨性/磨损腐蚀分类
矿业与冶金引用本文复制引用
蒋琴,孙丽,张旭..磁过滤沉积TiAlSiN纳米薄膜的摩擦磨损与腐蚀磨损行为[J].表面技术,2022,51(8):214-224,11.基金项目
国家自然科学基金(12175019) （12175019）
国家自然科学基金联合基金重点项目(U1865206) （U1865206）
国家科技重大专项(2017-VII-0012-0107)Fund:The National Natural Science Foundation of China(12175019) （2017-VII-0012-0107）
National Natural Science Foundation Joint Fund Key Project(U1865206) （U1865206）
National Science and Technology Major Project(2017-VII-0012-0107) （2017-VII-0012-0107）
