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氮氩流量比对磁控溅射CrAgCeN涂层摩擦学性能的影响

畅为航 蔡海潮 薛玉君 雷贤卿 李航

表面技术2022,Vol.51Issue(8):262-271,10.
表面技术2022,Vol.51Issue(8):262-271,10.DOI:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2022.08.022

氮氩流量比对磁控溅射CrAgCeN涂层摩擦学性能的影响

Effect of Nitrogen-to-argon Flow Ratio on Properties of CrAgCeN Coating by Magnetron Sputtering

畅为航 1蔡海潮 2薛玉君 1雷贤卿 1李航3

作者信息

  • 1. 河南科技大学 机电工程学院 ,河南 洛阳 471003
  • 2. 南阳理工学院,河南 南阳 473004
  • 3. 洛阳 LYC 轴承有限公司航空精密轴承国家重点实验室,河南 洛阳 471023
  • 折叠

摘要

关键词

氮氩流量比/磁控溅射/CrAgCeN涂层/摩擦磨损

分类

机械制造

引用本文复制引用

畅为航,蔡海潮,薛玉君,雷贤卿,李航..氮氩流量比对磁控溅射CrAgCeN涂层摩擦学性能的影响[J].表面技术,2022,51(8):262-271,10.

基金项目

国家重点研发计划(2021YFB3400401) (2021YFB3400401)

河南省科技攻关项目(202102210073) (202102210073)

国家国防基础科研计划项目(JCKY2018419C101) (JCKY2018419C101)

表面技术

OA北大核心CSCDCSTPCD

1001-3660

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