发光学报2022，Vol.43Issue(8)：1236-1243,8.DOI:10.37188/CJL.20220131
高真空磁控溅射温度对Ga2O3微观结构及光学性能的影响
Effect of Sputtering Temperature on Microstructural and Optical Properties of Gallium Oxide Deposited by High-vacuum Magnetron Sputtering
摘要
关键词
射频磁控溅射/Ga2O3/结构性能/光学性能分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
赵晶晶,刘丽华,秦彬皓,王海燕,杨为家..高真空磁控溅射温度对Ga2O3微观结构及光学性能的影响[J].发光学报,2022,43(8):1236-1243,8.基金项目
广东省自然科学基金面上项目(2022A1515010067) （2022A1515010067）
广州市基础与应用基础研究项目(202102020169) （202102020169）
国家重点研发计划(2020YFE0205300)资助项目 （2020YFE0205300）
