光学精密工程2022，Vol.30Issue(14)：1716-1724,9.DOI:10.37188/OPE.20223014.1716
压电定位平台Hammerstein建模与反馈线性化控制
Hammerstein modeling and feedback linearization control for piezoelectric positioning stage
摘要
关键词
压电陶瓷/压电定位平台/迟滞非线性/Hammerstein模型/反馈线性化控制分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
黄涛,罗治洪,陶桂宝,凌明祥..压电定位平台Hammerstein建模与反馈线性化控制[J].光学精密工程,2022,30(14):1716-1724,9.基金项目
国家重点研发计划项目(No.2018YFB1701203) （No.2018YFB1701203）
国家自然科学基金项目(No.52075179) （No.52075179）
