光学精密工程2022，Vol.30Issue(15)：1815-1827,13.DOI:10.37188/OPE.20223015.1815
衍射光学元件成套制造技术研究进展
Research progress on complete fabrication technology of diffractive optical elements
摘要
关键词
衍射光学元件/先进光刻/标准CMOS工艺/GDSII数据处理/图形转移分类
数理科学引用本文复制引用
谢常青..衍射光学元件成套制造技术研究进展[J].光学精密工程,2022,30(15):1815-1827,13.基金项目
国家自然科学基金资助项目(No.U1832217,No.61888102) （No.U1832217,No.61888102）
国家重点研发计划项目(No.2017YFA0206002) （No.2017YFA0206002）
