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相位调制实现变参量光栅结构的干涉光刻

路畅 许峰川 许宜申 陈林森 叶燕

光学精密工程2022，Vol.30Issue(15)：1836-1844,9.
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光学精密工程2022，Vol.30Issue(15)：1836-1844,9.DOI:10.37188/OPE.20223000.0144

相位调制实现变参量光栅结构的干涉光刻

Interference lithography of space-variant grating structures by phase modulation

路畅 1许峰川 2许宜申 1陈林森 3叶燕4

作者信息

  • 1. 苏州大学光电科学与工程学院,江苏苏州215006
  • 2. 苏州城市学院,江苏苏州215104
  • 3. 苏州大学纳米科技协同创新中心,江苏苏州215006
  • 4. 苏州大学江苏省先进光学制造技术重点实验室&教育部现代光学技术重点实验室,江苏苏州215006
  • 折叠

摘要

关键词

干涉光刻/4f光学系统/空间变参量/相位调制

分类

数理科学

引用本文复制引用

路畅,许峰川,许宜申,陈林森,叶燕..相位调制实现变参量光栅结构的干涉光刻[J].光学精密工程,2022,30(15):1836-1844,9.

基金项目

国家自然科学基金资助项目(No.62075149,No.61575132) （No.62075149,No.61575132）

江苏省自然科学基金资助项目(No.BK20201406) （No.BK20201406）

江苏省高校自然科学研究基金资助项目(No.21KJD510003) （No.21KJD510003）

江苏省高校优势学科建设(No.PAPD) （No.PAPD）

光学精密工程

OA北大核心CSTPCD

1004-924X

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