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熔石英玻璃高效低缺陷磁辅助抛光

叶卉李晓峰崔壮壮姜晨

光学精密工程2022，Vol.30Issue(15)：1857-1867,11.

光学精密工程2022，Vol.30Issue(15)：1857-1867,11.DOI:10.37188/OPE.20223015.1857

Magnetic-assisted polishing of fused silica optics with high efficiency and low defects

叶卉 ¹李晓峰 ¹崔壮壮 ¹姜晨¹

作者信息

磁辅助抛光/抛光间隙/铁粉体积比/材料去除率/粗糙度

机械制造

叶卉,李晓峰,崔壮壮,姜晨..熔石英玻璃高效低缺陷磁辅助抛光[J].光学精密工程,2022,30(15):1857-1867,11.

上海市科技英才扬帆计划资助项目(No.18YF1417700) （No.18YF1417700）

OA北大核心CSTPCD

ISSN：1004-924X

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