测试技术学报2022，Vol.36Issue(5)：410-415,6.DOI:10.3969/j.issn.1671-7449.2022.05.007
基于图像处理的扫描电子显微镜校准方法
Calibration Method for Scanning Electron Microscope Based on Image Processing
张晓东 1赵琳 1李锁印 1韩志国 1许晓青 1吴爱华1
作者信息
- 1. 中国电子科技集团公司第十三研究所,河北 石家庄 050051
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摘要
关键词
扫描电子显微镜/线间隔样板/格栅样板/图像处理/校准方法分类
机械制造引用本文复制引用
张晓东,赵琳,李锁印,韩志国,许晓青,吴爱华..基于图像处理的扫描电子显微镜校准方法[J].测试技术学报,2022,36(5):410-415,6.
