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声表面波气体传感器叉指换能器的结构优化

沈斌 杨海洋 刘新蕾 姜雷鸣

黑龙江科技大学学报2022,Vol.32Issue(4):520-524,5.
黑龙江科技大学学报2022,Vol.32Issue(4):520-524,5.DOI:10.3969/j.issn.2095-7262.2022.04.017

声表面波气体传感器叉指换能器的结构优化

lnterdigital transducer structure optimization of SAW gas sensor

沈斌 1杨海洋 1刘新蕾 1姜雷鸣1

作者信息

  • 1. 黑龙江科技大学 安全工程学院,哈尔滨150022
  • 折叠

摘要

关键词

声表面波传感器/双向叉指换能器/浮动电极单向换能器/插入损耗

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

沈斌,杨海洋,刘新蕾,姜雷鸣..声表面波气体传感器叉指换能器的结构优化[J].黑龙江科技大学学报,2022,32(4):520-524,5.

基金项目

国家自然科学基金项目(52074111) (52074111)

黑龙江省自然科学基金项目(YQ2020E034) (YQ2020E034)

黑龙江科技大学学报

OACSTPCD

2095-7262

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