计量学报2022，Vol.43Issue(8)：979-983,5.DOI:10.3969/j.issn.1000-1158.2022.08.02
在片校准件参数定值方法
Method for Definition Parameters of On-Wafer Calibration Standards
霍晔 1吴爱华 1王一帮 1栾鹏 1刘晨 1梁法国 1孙静 1张立飞1
作者信息
- 1. 中国电子科技集团公司第十三研究所,河北石家庄050051
- 折叠
摘要
关键词
计量学/在片校准件/参数定值/等效电路模型分类
通用工业技术引用本文复制引用
霍晔,吴爱华,王一帮,栾鹏,刘晨,梁法国,孙静,张立飞..在片校准件参数定值方法[J].计量学报,2022,43(8):979-983,5.
