太阳能Issue(8):70-74,5.DOI:10.19911/j.1003-0417.tyn20210412.01
"PERC+SE"单晶硅太阳电池氧化工艺研究
RESEARCH ON OXIDATION PROCESS OF"PERC+SE" MONO-Si SOLAR CELLS
刘苗 1张建军 1张永 1许志卫 1李景1
作者信息
摘要
关键词
单晶硅太阳电池/选择性发射极/PERC/碱抛光/SiO2膜/掩膜分类
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刘苗,张建军,张永,许志卫,李景.."PERC+SE"单晶硅太阳电池氧化工艺研究[J].太阳能,2022,(8):70-74,5.