电机与控制应用2022，Vol.49Issue(8)：59-65,7.DOI:10.12177/emca.2022.073
基于PD反馈控制的音圈电机直驱式微动台直线度补偿技术
Straightness Compensation Technology of Voice Coil Motor Direct-Drive Micro-Motion Positioning Stage Based on PD Feedback Control
摘要
关键词
音圈电机/微动台/位置闭环控制/直线度补偿/喷墨打印分类
机械制造引用本文复制引用
李奇..基于PD反馈控制的音圈电机直驱式微动台直线度补偿技术[J].电机与控制应用,2022,49(8):59-65,7.
