中国光学2022，Vol.15Issue(4)：703-711,9.DOI:10.37188/CO.2022-0009
基于机器学习的过焦扫描显微测量方法研究
Through-focus scanning optical microscopy measurement based on machine learning
摘要
关键词
MEMS/机器学习/过焦扫描光学显微法/微纳测量分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
李冠楠,石俊凯,陈晓梅,高超,姜行健,崔成君,朱强,霍树春,周维虎..基于机器学习的过焦扫描显微测量方法研究[J].中国光学,2022,15(4):703-711,9.基金项目
国家重点研发计划(No.2019YFB2005603) （No.2019YFB2005603）
清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室开放基金(No.TH20-01) （No.TH20-01）
国家自然科学基金(No.51905528) （No.51905528）
精密测试及仪器国家重点实验室开放基金(No.pilab2102) （No.pilab2102）
