中国光学2022，Vol.15Issue(4)：740-746,7.DOI:10.37188/CO.2022-0005
深紫外大口径非球面反射膜的均匀性研究
Film thickness uniformity of deep ultraviolet large aperture aspheric mirror
摘要
关键词
薄膜/均匀性/修正挡板/大口径/非球面分类
数理科学引用本文复制引用
潘永刚,林兆文,王奔,付秀华..深紫外大口径非球面反射膜的均匀性研究[J].中国光学,2022,15(4):740-746,7.基金项目
吉林省科技发展计划项目(No.20190302095GX) （No.20190302095GX）
