真空电子技术Issue(4)：P.67-72,6.DOI:10.16540/j.cnki.cn11-2485/tn.2022.04.12
太赫兹矩形折叠波导慢波结构铜叠片电铸厚度均匀性研究
摘要
关键词
厚度均匀性/矩形折叠波导/反向脉冲/UV-LIGA/辅助阴极分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
詹晓非,朱增伟..太赫兹矩形折叠波导慢波结构铜叠片电铸厚度均匀性研究[J].真空电子技术,2022,(4):P.67-72,6.基金项目
江苏省自然科学基金资助项目(BK20192007) （BK20192007）
微波电真空器件国家级重点实验室基金资助项目。 （）
